Мікроскоп електронний JEOL JSM-7600F.
Електронний растровий мікроскоп з автоемісійним катодом

Новий растровий електронний мікроскоп JSM-7600F єдиний комерційний РЕМ, електронно оптична система якого забезпечує корекцію й хроматичної й сферичної аберації. Крім того, цей прилад має роздільну здатність 0.6 нм при прискорюючій напрузі 5 кВ, що відкриває нові можливості для дослідження речовини на нанорівні. Растровий електронний мікроскоп JSM-7600F спеціально оптимізовано для роботи при низьких прискорюючих напругах, що є особливо актуальним для напівпровідникової промисловості.

 Характеристики:

• Роздільна здатність: 0,6 нм (при 5 кВ), 1,0 нм (при 1 кВ)
• Прискорююча напруга: від0,1 до 4,9 кВ (з кроком 10 В), від 5 до 30 кВ з кроком  (100 В)
• Збільшення: від х25 до х2 000 000.

JSM-7500F унікальний тим, що навіть при низькій прискорюючій напрузі він забезпечує надвисоку роздільну здатність (1,4нм при 1кВ). Це робить JSM-7500F відмінним інструментом для аналіза текстури наноструктурних об'ектів, особливо таких,  які чутливі до дії електронних пучків.

Низька чутливість до вібрацій підлоги та акустичних шумів суттєво знижують вимоги до підготовки приміщення для установки JSM-7500F. Режим реєстрації електронів, відбитих під малим кутом (LABE, запатентований JEOL), знімає ефект зарядки зразку, дозволяє реєструвати відображені електрони малих енергій, дає повну інформацію про дрібні деталі поверхні та композиційнй контраст.

Характеристики:

• Просторова роздільна здатність - 1,0 нм при 15 кВ;  1,4 нм при 1 кВ;0,6 нм при 30 кВ;
• електронна гармата - з холодним катодом на польовій емісії;
• Прискорююча напруга - від 0,1кВ до 30 кВ;
• Діапазон струмів пучка - від 10^-12 до 2*10^-9 A;
• Діапазон збільшень - від х25 до х1 000 000 (в перерахунку на фотопластину 9 см*12 см);
• 5-вісевий моторизований столик зразків з автоматичним захистом, евцентричного типу;
• Максимальний розмір зразку - діаметром до 200 мм, висотою до 10 мм;
• Одночасне спостереження 4 різних сигналів з 16-бітним динамічним діапазоном;
• r-фільтр дозволяє проводити фільтрацію по енергіям вторинних та відображених електронів;
• Система “Gentle Beam”  дозволяє зменшити заряд на непровідних зразках та вивчати їх при високій роздільній здатності та низьких прискорюючих напругах;
• Автоматична заміна зразків (опція);
• Висувний детектор відбитих електронів.

Тут Ви можете переглянути інформацію про прилади на сайті JEOL.

JSM-7001F – скануючий електронний мікросокп з катодом Шоткі.

Ідеальне рішення для дослідження та аналізу наноструктур. Багатозадачний високоефективний СЕМ з низьким споживанням енегії (2 кВА) оснащений унікальною комбінацією гармати «In-lens», що дозволяє ефективно збирати усі електрони та підтримувати високий струм пучка автоемисійного катоду та лінзи з оптимальним кутом апертури для флрмування тонкого зонду навіть при високих стркмах (до 200 нА). Ця розробка JEOL дозволяэ підтримувати високий струм пучка з високою стабільністю, що ефективно для EBSP, WDS та CL аналізів, та дозволяє одночасно отримувати зображення високої роздільної здатності у широкому діапазоні збільшень. При цьому немає необхідності міняти апертуру. Маленький розмір зонда гарантуєтсья навіть при низькій прискорюючій напрузі та високих струмах.

На колону мікроскопа можуть бути встановлені усі типи аналітичних приставок, наприклад, EDS, WDS, EBSD, CL, EBIC. Малий діаметр зонда та оптимальні умови дають можливість робити елементний аналіз зразків з розмірами аналізованої області в декілька десятків нанометрів. Детектор струму пучка встановлюється на колону мікроскопа нижче апертури об'єктивної лінзи, що дозволяє контролювати струм пучка в будь-який момент під час аналізу. Система “Gentle Beam” дозволяє зменшувати заряд на непровідних зразках та вивчати їх при високій роздільній здатності. Магнітне поле не виходить за межі суперконічної об'єктивноїлінзи, так що можуть досліджуватися навіть магнітні зразки великого розміру. Найменша апертура об'єктивної лінзи забезпечує струм пучка 10 нА, що ефективно для елементного аналізу за допомогою EDS и EBSD.

• Просторова роздільна здатність - 1,2 нм при 30 кВ, 3 нм при 1 кВ; 
• Повністю автоматизована електронна гармата;
• Детектор для роботи в STEM режимі (опція);
• Прискорююча напруга - від 0,5кВ до 20 кВ;
• Струм пучка - до 200 нА при 15 кВ;
• Діапазон збільшень - від х10 до х500 000;
• Максимальний розмір зразка - діаметр до 200 мм;
• Катод Шоткі;
• Столик зразків - евцентричного типу, моторизований;
• Нано маніпулятор (опція). Можлива установка декількох маніпуляторів.

Тут Ви можете переглянути інформацію про прилади на сайті JEOL.

Новітні прилади серії JSM-6610 - надійні й невибагливі растрові електронні мікроскопи з гарантованим роздільною здатністю 3 нм. Модель растрового електронного мікроскопа JSM-6610LV оздоблена системою низького вакууму, що дозволяє спостерігати водонасичені або електронепровідні зразки без напилювання. Евцентричний столик зразків, яким комплектуються ці прилади, дозволяє вивчати об'єкти діаметром до 8 дюймів.

Основними особливостями приладів цієї серії є:

• Просторове вирішення - 3 нм (2,5нм з катодом LaB6);
• Прискорююча напруга - від 0,3кВ до 30 кВ;
• Діапазон збільшень - від х5 до х300 000;
• Максимальний розмір зразку - діаметр до 200 мм, висота до 80 мм;
• Види контрасту - вторинні електрони: топографічний контраст; відбиті електрони: композиційний, топографічний, тіньовий контрасти.
• Катод - W або LaB₆ (опція);
• Столик зразків - евцентричний, моторизація до 5 осей з комп'ютерним управлінням, діапазон переміщень: Х – 125 мм, Y – 100 мм, Z – от 5 до 80 мм. Нахил: від - 10 до +90 градусів, поворот 360 градусів;
• Програмне забезпечення - для MS Windows XP Pro.

	JSM-6610	JSM-6610LV	JSM-6610A	JSM-6610LA
EDS	опційно		інтегрований
Роздільна здатність (режим високого вакууму)	3,0 нм
Роздільна здатність (режим низького вакууму)	-	4,0 нм	-	4,0 нм
Зображення у вторинних електронах	в компл. поставки
Зображення у зворотно-розсіяних електронах	опційно	штатно	опційно	штатно
Збільшення	от х5 до х300000
Прискорююча напруга	от 0,3 кВ до 30 кВ
Прискорююча напруга	евцентричного типу,  X: 125 мм, Y: 100 мм, Z: 5...80 мм, нахил:-10...+90o, поворот: 360o, комп'ютерний контроль по 5 осям
Максимальний розмір зразка	діаметром до 200 мм
ЕОМ/ОС	IBM PC/MS Windows XP *
Функції	установки користувача, автофокус, автоконтраст/яскравість, автостигматор, автоматичний контроль гармати
Система відкачки	високий вакуум	високий вакуум низький вакуум	високий вакуум	високий вакуум низький вакуум

Тут Ви можете переглянути інформацію про прилади на сайті JEOL.

Електронні мікроскопи серії JSM-6510 - це недорогі прилади з роздільною здатністю у високому вакуумі до 3 нм. Інтерфейс програмного забезпечення, що повністю налаштовується робить роботу із приладами інтуїтивно зрозумілою, а програма SmileShot™ гарантує оптимальні робочі установки. Низьковакуумний режим в моделі JSM-6510LV включається одним клацанням миші, дозволяючи вивчати вологі або непровідні зразки без напилювання. Максимальний розмір зразків для цих приладів обмежений 6 дюймами.

Основними особливостями приладів цієї серії є:  

JCM-5000 NeoScope – вдале поєднання оптичного та скануючого мікроскопу в одному пристрої. За його допомогою можна отримувати збільшене зображення високої роздільної здатності та чіткості. Незалежно від того, використовується мікроскоп як дослідницький інструмент чи як позаконкурентна альтернатива світловому мікроскопу, NeoScope пришвидшить проведення біологічних та криміналістичних досліджень, стане незамінним інструментом в аналізі дефектів виробничих матеріалів. NeoScope простий у користуванні, оснащений функціями автофокусу, автоконтрастом та автоматичним регулятором яскравості. Не потребує спеціальної підготовки зразків, як, наприклад, напилення або висушування. Мікроскоп працює в режимах низького та високого вакууму, для різних видів досліджень має три режими прискорюючої напруги.

Характеристики:

• Компактний скануючий електронний мікроскоп з автоматизованими налаштуваннями для різних видів зразків (матеріалознавчих, біологічних);
• Висока роздільна здатність та чіткість зображення;
• Збільшення X10 – 20,000;
• Aвтоматичне та ручне регулювання з можливістю зберігати налаштування користувача;
• Режим високого та низького вакууму;
• Не потребує спеціальної попередньої підготовки зразків (напилення, висушування);
• Зображення у вторинних та відбитих електронах;
• Три позиції прискорюючої напруги;
• Завантаження зразку займає не більше 3 хвилин;
• Простий у користуванні.

Тут Ви можете переглянути інформацію про прилади на сайті JEOL.