JSPM-5410 - багатоцільовий мікроскоп для спостереження та вимірювання об'єктів з нанометровими розмірами. Даний прилад дає можливість отримувати високоякісне зображення топографії та фізичних властивостей поверхні. Розроблений з урахуванням останніх досягень нанотехнологій, JSPM-5410 широко застосовується у різноманітних сферах. Мікроскоп поєднує сучасні та традиційні (STO та PID) методи контролю. Це єдиний зручний для дослідження м'яких матеріалів зондовий мікроскоп, який у стандартній конфігурації має безконтактний режим.

Характеристики:

• Роздільна здатність: по поверхні - 0,1 нм, вертикальний напрямок - 0,02 нм, у режимах AFM та STM - атомна роздільна здатність;
• Режими вимірювань: AFM (NC, AC, контактний режим), STM, спектроскопія;
• Діапазон сканувань: ХY - від 0 до 20 мкм (роздільна здатнтість: еквівалентно 21 біту, 16 біт, 3DAC), Z - від 0 до 3 мкм (роздільна здатність: 22 біта);
• Розмір зразків: до 50 мм х 50 мм х 5 мм;
• Предметний столик: бездрейфовий (0,05 нм/с або менше), переміщення XY ±3 мм, Z 5 мм;
• Антивібраційний стіл (пневмопідвіска, гелевий демпфер).

Тут  Ви можете переглянути інформацію  про прилад на сайті JEOL Японія.

Дана серія мікроскопів була створена для використання в режимі скануючого тунельного мікроскопа (STM), або атомного силового мікроскопа (AFM). Зміна режимів відбувається простою зміною «голівки» основного мікроскопа. Це робиться настільки просто, що заміну блоку може провести будь-який оператор за максимально короткий час.
Основний блок може бути з вакуумним відкачуванням (постачається додатково), це дає можливість застосовувати різні додаткові пристрої для спостереження, зразків, наприклад, при нагріванні або охолодженні зразка, введенні газу й т.п.   

 Тут  Ви можете переглянути інформацію  про прилад на сайті JEOL Японія.

В цьому мікроскопі досягається, за умови надвисокого вакууму (10-8Па), роздільна здатність 0,14 нм по горизонталі й по вертикалі, що необхідно для спостереження чистих поверхонь зразка. Традиційне спостереження топографічних картин поверхні зразка може бути доповнено різноманітним периферичним обладнанням для різних цілей, таких як:

•  спостереження процесів вбирання, фазових переходів при високих або низьких температурах, і зміни стану тонких плівок;
• скануюча тунельна мікроскопія;
• атомна силова мікроскопія.