Комплексные системы микроанализа OXFORD INSTRUMENTS

Oxford INCAEnergy - система энергодисперсионного микроанализа для электронной микроскопии и микрорентгеноспектрального анализа. Энергодисперсионный спектрометр монтируется в качестве аналитической приставки к РЭМ или ЭЗМА и позволяет проводить качественный и количественный анализ в выбранных точках, а также получать карты распределений элементов по площади и профилю вдоль линии. Спектрометры с термоциклированным детектором высокого энергетического разрешения (138 эВ и 133 эВ) INCA Energy поставляются в трех стандартных конфигурациях: INCA Energy 250, INCA Energy 350 и INCA Energy 450. Все конфигурации позволяют проводить анализы с высочайшей точностью и производительностью.

• выполнять качественный и количественный (по списку элементов, составляемому оператором) рентгеновский микроанализ с выбором точки анализа на экране микроскопа
• редактировать названия пиков
• получать и распечатывать цифровые изображения
• сегментировать полутоновые изображения с выдачей информации о площади
• импортировать данные ISIS в проекты INCA
• получать карты распределений элементов по площади и профили вдоль линии
• составлять отчеты с использованием набора шаблонов, конструировать собственные шаблоны с помощью редактора шаблонов
• одновременно с наблюдением в окне программы для просмотра INCA viewer производить различные операции со спектрами, изображениями и картами
• экспортировать отчеты как документы в форматах MS Word или HTML.

OXFORD INCA Energy 350 позволяет:

• выполнять качественный и количественный (по списку элементов, составляемому оператором) рентгеновский микроанализ с выбором точки анализа на экране микроскопа и на экране ЭДС
• редактировать названия пиков
• получать и распечатывать цифровые изображения, включая изображения, полученные с помощью программы Cameo+
• сегментировать полутоновые изображения с выдачей информации о площади
• получать и сохранять спектры с отдельных точек или участков образца
• собирать спектры вдоль линии и/или по сетке на выбранном участке
• импортировать данные ISIS в проекты INCA
• выбирать рентгеновские линии для количественного анализа и картирования
• получать карты распределения элементов и профили распределения вдоль линии
• составлять отчеты с использованием набора шаблонов, конструировать собственные шаблоны с помощью редактора шаблонов
• одновременно с наблюдением в окне программы для просмотра INCA viewer производить различные операции со спектрами, изображениями и картами
• экспортировать отчеты как документы в форматах MS Word или HTML.

OXFORD INCA Energy 450 позволяет:

• синтезировать спектры составных или чистых стандартных образцов
• сравнивать текущий спектр с сохраненными
• получать карты распределения фаз из элементных карт и данных программы Cameo+, выполнять качественный и количественный рентгеновский микроанализ с выбором точки анализа на экране микроскопа и на экране ЭДС
• редактировать названия пиков
• получать и распечатывать цифровые изображения, включая изображения, полученные с помощью программы Cameo+
• сегментировать полутоновые изображения с выдачей информации о площади
• получать и сохранять спектры с отдельных точек или участков образца
• собирать спектры вдоль линии и/или по сетке на выбранном участке
• импортировать данные ISIS в проекты INCA
• выбирать рентгеновские линии для количественного анализа и картирования
• получать карты распределения элементов и профили распределения вдоль линии
• составлять отчеты с использованием набора шаблонов, конструировать собственные шаблоны с помощью редактора шаблонов
• одновременно с наблюдением в окне программы для просмотра INCA viewer производить различные операции со спектрами, изображениями и картами
• экспортировать отчеты как документы в форматах MS Word или HTML.

OXFORD INCA Wave — система микроанализа для растровой электронной микроскопии и микрорентгеноспектрального анализа, в которой используются детекторы с дисперсией по длинам волн. Волновой спектрометр монтируется в качестве аналитической приставки к РЭМ или ЭЗМА и позволяет проводить качественный и количественный анализ в выбранных точках (в том числе, и в автоматическом режиме по заданным заранее точкам), а также получать карты распределений элементов по площади и профили вдоль линии. Программа Energy+ (поставляется по доп. заказу) позволяет работать волновому и энергодисперсионному спектромектрам как единой системе, что расширяет возможности каждого из спектрометров и увеличивает производительность и точность анализов.
OXFORD INCA Wave поставляется в двух конфигурациях:

INCA Wave 500:
Полностью фокусирующий спектрометр с кругом Роуланда 210 мм и угловым диапазоном 2 от 33° до 135° 4 кристалла-анализатора (в 6 позициях) размещены на поворотной турели, управляемой компьютером, причем смена кристалла-анализатора может быть произведена в любом положении спектрометра. Для анализа всех элементов от бора до урана. Параметры кристаллов-анализаторов:

На турель могут быть установлены дополнительные кристаллы (по специальному заказу)

INCA Wave 700:
Полностью фокусирующий спектрометр с кругом Роуланда 210 мм и угловым диапазоном 2 от 33° до 135°. 5 кристалл-анализаторов (в 6 позициях) размещены на поворотной турели, управляемой компьютером, причем смена кристалла-анализатора может быть произведена в любом положении спектрометра. Для анализа всех элементов от бериллия до урана Параметры кристаллов-анализаторов:

На турель могут быть установлены дополнительные кристаллы (по специальному заказу)

Оба спектрометра имеют следующие характеристики:

• воспроизводимость положения спектрометра ?0.000014 нм с кристаллом-анализатором LiF(200); линейность по длинам волн ?0.0002 нм с кристалл-анализатором LiF(200) при температуре в помещении 22° ? 3°C 
• смена кристалл-анализаторов с помощью мотора, установленного непосредственно на поворотную турель
• проточный пропорциональный и газонаполненный пропорциональный счетчики смонтированы друг за другом
• перед рентгеновскими счетчиками установлен мотор для управления шириной входной щели
• для оптимального детектирования рентгеновских лучей каждой спектральной линии установлен специальный мотор перемещения щели и детектора
• в комплект входит интерфейс сопряжения с камерой образцов растрового электронного микроскопа, включая оснащение клапанами, где это необходимо

OXFORD INCA Crystal — система для анализа картин дифракции обратно-рассеянных электронов (ДОРЭ). INCA Crystal монтируется в качестве аналитической приставки к РЭМ и позволяет получать качественную и количественную информацию о кристаллографической ориентации микрокристаллов, текстуре, и границах зерен с высоким пространственным разрешением. INCACrystal поставляется в двух стандартных конфигурациях:

OXFORD INCA Crystal 200  позволяет пользователю:

• управлять работой ПЗС-камеры (с разрешением 1300 × 1024 пикселей, 12 бит), охлаждаемой системой, работающей на эффекте Пелтье
• скорость построения карт >35,000 пикселей в час при оптимальных условиях с низкими требованиями к электронному пучку
• выбирать до 6 фаз при их разделении
• получать изображения анализируемых участков образца во вторичных / обратно- и вперед-рассеянных электронах
• собирать информацию об ориентации и разориентации из точек, выбранных на электронном изображении
• получать карты распределения ориентаций и фаз любой формы
• выводить на экран результаты в виде карт распределения ориентаций
• выводить результаты в виде карт разориентаций
• выводить результаты в виде полюсных фигур, обратных полюсных фигур и диаграмм Эйлера
• отфильтровывать карты ориентаций по отсутствующим или изолированным пикселам
• отфильтровывать карты ориентаций по критериям плохая дифракционная картина и остаточный угол
• экспортировать данные по ориентациям
• создавать отчеты с помощью набора шаблонов
• экспортировать отчеты в виде документов MS Word

OXFORD INCA Crystal 300  позволяет пользователю:

• наблюдать карты разориентаций с гистограммами в диалоговом режиме
• в диалоговом режиме наблюдать карты CSL с гистограммами
• в диалоговом режиме анализировать распределение зерен по размеру
• анализировать текстуру в диалоговом режиме
• получать результаты для участка, выбранного вручную
• получать данные по размеру зерен, качеству дифрактограмм, остаточному углу и параметрам текстуры для выбранного участка
• накладывать информацию об ориентации, разориентации и размере зерен

Камера

• ПЗС камера 1300 × 1024 пикселей, 12 бит, охлаждаемая Пелтье-холодильником
• компьютерное управление усилением и яркостью; дискретизацией дифрактограммы; временем накопления кадра (диапазон от 1 мсек до нескольких секунд с дискретностью от миллисекунд до секунд)
• фосфоресцирующий экран, выдвижной фосфоресцирующий экран диаметром 41 мм 
• детектор фронтально отраженных электронов типа Vanguard
• узел детектора фронтально отраженных электронов монтируется внизу фосфоресцирующего экрана для детектирования электронов, отраженных вперед по отношению к поверхности образца

Микроаналитический процессор:

• система связи по высокоскоростной шине PCI translink с конвейерной организацией для быстрого обмена данными с системным компьютером
• встроенные средства диагностики, включая мониторинг источника питания и внутренней температуры
• линейный источник питания
• работает совместно с ЭД спектрометром в комбинированных ЭДС/ДОРЭ системах
• современная цифровая система сканирования Superscan
• использует цифровой сигнальный процессор (ЦСП) для оптимизации скоростных характеристик при сканировании и получении аналогового изображения
• подавление шумов по Кальману при наборе изображения
• 12 битные ЦАПы для позиционирования электронного пучка, видеопамять 2 мбайта