Растровые электронные микроскопы JEOL

Новый растровый электронный микроскоп JSM-7700F - единственный коммерческий РЭМ, электронная оптическая система которого обеспечивает коррекцию и хроматической и сферической абберации. Кроме того, этот прибор имеет разрешение 0.6 нм на ускоряющем напряжении 5 кВ, что открывает новые возможности для исследования вещества на наноуровне. Растровый электронный микроскоп JSM-7700F специально оптимизирован для работы на низких ускоряющих напряжениях, что особенно актуально для полупроводниковой промышленности.

• Разрешение: 0,6 нм (при 5 кВ), 1,0 нм (при 1 кВ)
• Ускоряющее напряжение: от 0,1 до 4,9 кВ (с шагом 10 В), от 5 до 30 кВ с шагом (100 В)
• Увеличение: от х25 до х2 000 000

Эта модель растрового электронного микроскопа с автоэмиссионным катодом оснащена абсолютно новыми разработками фирмы JEOL: системой «Gentle Beam» и R-фильтром. Система «Gentle Beam» предназначена для наблюдения тонкой структуры поверхности образца и предполагает получение изображений высокого разрешения даже при очень низких энергиях электронов (вплоть до 0.1 кВ). R-фильтр дает возможность произвольно смешивать сигналы обратно-рассеянных и вторичных электронов, что позволяет наблюдать изображения в любых режимах от топографического до композиционного контраста.

• Разрешение: 1.0 нм (при 15 кВ), 1.5 нм (при 1 кВ)
• Ускоряющее напряжение: от 0.1 до 30 кВ
• Увеличение: от х25 до х1000000

Новейший растровый электронный микроскоп JEOL JSM-7000F позволяет получать изображения с очень высоким разрешением. Он оснащен многоцелевой камерой образцов со шлюзом для быстрой смены образцов, автоматическим моторизованным столиком и функионально наполненным программным обеспечением. При этом он имеет совершенную геометрию оптической колонны, обеспечивающую большой ток зонда (до 200 нА) при его минимальном диаметре, что делает этот прибор идеальным для работы с приставками EDS, WDS, EBSD и CL.

• Разрешение: 1,2 нм (при 30 кВ) и 3,0 нм (при 1 кВ)
• Ускоряющее напряжение: от 0,5 до 2,9 кВ (с шагом 10 В), от 3 до 30 кВ с шагом (100 В)
• Увеличение: от х10 до х500 000

В растровом электронном микроскопе JSM-6700F используется разработанная JEOL коническая объективная линза с сильным возбуждением. Это дает возможность исследовать большие образцы с гарантированным разрешением 1,0 нм при ускоряющем напряжении 15 кВ и 2,2 нм при 1 кВ. Камера образцов вмещает образцы диаметром до 200 мм. Данная модель оснащена автоматизированным механизмом перемещения по X, Y и R, что делает работу с прибором более эффективной.

• Разрешение: 1,0 нм
• Ускоряющее напряжение: 0,5 до 30 кВ (53 ступени)
• Увеличение: от х25 до х19 000 (в режиме LM), от х100 до х650 000 (в режиме SEM)

Новейшие приборы серии JSM-6490 - надежные и неприхотливые растровые электронные микроскопы с гарантированным разрешением 3 нм. Модель растрового электронного микроскопа JSM-6490LV оснащена системой низкого вакуума, позволяющей наблюдать водонасыщенные или непроводящие образцы без напыления. Эвцентрический столик образцов, которым комплектуются эти приборы, позволяет изучать объекты диаметром до 8 дюймов.

Основными особенностями приборов этой серии являются:

• термоэмиссионная пушка с вольфрамовым или LaB6 катодом
• автоматическая настройка для типовых образцов
• продуманный и компактный дизайн
• полностью настраиваемый интерфейс программного обеспечения
• супер-коническая объективная линза
• полностью автоматическая вакуумная система

Электронные микроскопы серии JSM-6390 - это недорогие приборы с разрешением в высоком вакууме до 3 нм. Польностью настраиваемый интерфейс программного обеспечения делает работу с приборами интуитивно понятной, а программа SmileShot™ гарантирует оптимальные рабочие установки. Низковакуумный режим в модели JSM-6390LV включается одним щелчком мыши, позволяя изучать влажные или непроводящие образцы без напыления. Максимальный размер образцов для этих приборов ограничен 6 дюймами.

Основными особенностями приборов этой серии являются:

• термоэмиссионная пушка с вольфрамовым или LaB6 катодом
• автоматическая настройка для типовых образцов
• подуманный и компактный дизайн
• полностью настраиваемый интерфейс программного обеспечения
• улучшенное получение изображений во вторичных электронах
• супер-коническая объективная линза
• полностью автоматическая вакуумная система