Растровые электронные микроскопы JEOL

Растровый электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом

Новый растровый электронный микроскоп JSM-7600F - единственный коммерческий РЭМ, электронная оптическая система которого обеспечивает коррекцию и хроматической и сферической абберации. Кроме того, этот прибор имеет разрешение 0.6 нм на ускоряющем напряжении 5 кВ, что открывает новые возможности для исследования вещества на наноуровне. Растровый электронный микроскоп JSM-7600F специально оптимизирован для работы на низких ускоряющих напряжениях, что особенно актуально для полупроводниковой промышленности.

• Разрешение: 0,6 нм (при 5 кВ), 1,0 нм (при 1 кВ);
• Ускоряющее напряжение: от 0,1 до 4,9 кВ (с шагом 10 В), от 5 до 30 кВ с шагом (100 В);
• Увеличение: от х25 до х2 000 000.

Более подробная информация о приборе JSM-7700F в формате Adobe Acrobat (PDF) (600 Кб) Здесь Вы можете посмотреть информацию о приборе на сайте JEOL США. В начало страницы

Растровый электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом

Эта модель растрового электронного микроскопа с автоэмиссионным катодом оснащена абсолютно новыми разработками фирмы JEOL: системой «Gentle Beam» и R-фильтром. Система «Gentle Beam» предназначена для наблюдения тонкой структуры поверхности образца и предполагает получение изображений высокого разрешения даже при очень низких энергиях электронов (вплоть до 0.1 кВ). R-фильтр дает возможность произвольно смешивать сигналы обратно-рассеянных и вторичных электронов, что позволяет наблюдать изображения в любых режимах от топографического до композиционного контраста.

• Разрешение: 1.0 нм (при 15 кВ), 1.5 нм (при 1 кВ)
• Ускоряющее напряжение: от 0.1 до 30 кВ
• Увеличение: от х25 до х1000000

Более подробная информация о приборе JSM-7401F в формате Adobe Acrobat (PDF) (900 Кб) Здесь Вы можете посмотреть информацию о приборе на сайте JEOL США. В начало страницы

Растровый электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом

Новейший растровый электронный микроскоп JEOL JSM-7000F позволяет получать изображения с очень высоким разрешением. Он оснащен многоцелевой камерой образцов со шлюзом для быстрой смены образцов, автоматическим моторизованным столиком и функионально наполненным программным обеспечением. При этом он имеет совершенную геометрию оптической колонны, обеспечивающую большой ток зонда (до 200 нА) при его минимальном диаметре, что делает этот прибор идеальным для работы с приставками EDS, WDS, EBSD и CL.

• Разрешение: 1,2 нм (при 30 кВ) и 3,0 нм (при 1 кВ)
• Ускоряющее напряжение: от 0,5 до 2,9 кВ (с шагом 10 В), от 3 до 30 кВ с шагом (100 В)
• Увеличение: от х10 до х500 000

Более подробная информация о приборе JSM-7000F в формате Adobe Acrobat (PDF) (900 Кб) Здесь Вы можете посмотреть информацию о приборе на сайте JEOL США. В начало страницы

Растровый электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом

В растровом электронном микроскопе JSM-6700F используется разработанная JEOL коническая объективная линза с сильным возбуждением. Это дает возможность исследовать большие образцы с гарантированным разрешением 1,0 нм при ускоряющем напряжении 15 кВ и 2,2 нм при 1 кВ. Камера образцов вмещает образцы диаметром до 200 мм. Данная модель оснащена автоматизированным механизмом перемещения по X, Y и R, что делает работу с прибором более эффективной.

• Разрешение: 1,0 нм
• Ускоряющее напряжение: 0,5 до 30 кВ (53 ступени)
• Увеличение: от х25 до х19 000 (в режиме LM), от х100 до х650 000 (в режиме SEM)

Более подробная информация о приборе JSM-6700F в формате Adobe Acrobat (PDF) (1.8 Мб) Здесь Вы можете посмотреть информацию о приборе на сайте JEOL США. В начало страницы

Растровый электронные микроскопы с большой камерой образцов

Новейшие приборы серии JSM-6490 - надежные и неприхотливые растровые электронные микроскопы с гарантированным разрешением 3 нм. Модель растрового электронного микроскопа JSM-6490LV оснащена системой низкого вакуума, позволяющей наблюдать водонасыщенные или непроводящие образцы без напыления. Эвцентрический столик образцов, которым комплектуются эти приборы, позволяет изучать объекты диаметром до 8 дюймов.

Основными особенностями приборов этой серии являются:

• термоэмиссионная пушка с вольфрамовым или LaB6 катодом
• автоматическая настройка для типовых образцов
• продуманный и компактный дизайн
• полностью настраиваемый интерфейс программного обеспечения
• супер-коническая объективная линза
• полностью автоматическая вакуумная система

Официальный пресс-релиз о приборах серии JSM-6490 в формате Adobe Acrobat (PDF) (100 Кб) Здесь или здесь Вы можете посмотреть информацию о приборах на сайте JEOL США. В начало страницы

Растровый электронный микроскоп (недорогой)

Электронные микроскопы серии JSM-6390 - это недорогие приборы с разрешением в высоком вакууме до 3 нм. Польностью настраиваемый интерфейс программного обеспечения делает работу с приборами интуитивно понятной, а программа SmileShot™ гарантирует оптимальные рабочие установки. Низковакуумный режим в модели JSM-6390LV включается одним щелчком мыши, позволяя изучать влажные или непроводящие образцы без напыления. Максимальный размер образцов для этих приборов ограничен 6 дюймами.

Основными особенностями приборов этой серии являются:

• термоэмиссионная пушка с вольфрамовым или LaB6 катодом
• автоматическая настройка для типовых образцов
• подуманный и компактный дизайн
• полностью настраиваемый интерфейс программного обеспечения
• улучшенное получение изображений во вторичных электронах
• супер-коническая объективная линза
• полностью автоматическая вакуумная система

Официальный пресс-релиз о приборах серии JSM-6390 в формате Adobe Acrobat (PDF) (100 Кб) Здесь или здесь Вы можете посмотреть информацию о приборе на сайте JEOL США. В начало страницы

Настольный сканирующий электронный микроскоп

• Компактный сканирующий электронный микроскоп с автоматическими настройками для разных видов образцов (материаловедческих, биологических)
• Высокое разрешение и четкость изображения
• Увеличение X10 – 20,000
• Автоматическое и ручное регулирование с возможностью сохранять настройки пользователя
• Режим высокого и низкого вакуума
• Не требует специальной предварительной подготовки образцов (напыление, высушивание)
• Изображение во вторичных и отраженных электронах
• Три позиции ускоряющего напряжения
• Загрузка образца занимает не более 3 минут
• Прост в использовании.

Многоцелевой растровый электронный микроскоп

Компактный многоцелевой РЭМ с предельной простотой управления и высоким качеством оптики.

Данный микроскоп создан для удовлетворения запросов как самых взыскательных исследователей, так и инженеров, использующих сканирующий электронный микроскоп в качестве средства контроля. Все возможности инструмента доступны даже начинающим пользователям.

Интуитивно понятный интерфейс. Все операции по управлению микроскопом могут выполняться с помощью мышки и дополнительного выносного пульта. Многопользовательская система. С помощью новой системы сканирования можно работать на очень малых увеличениях. Электронная пушка полностью автоматизирована. При изменении ускоряющего напряжения не требуется каких-либо дополнительных настроек. Благодаря уникальной конденсорной линзе с переменным фокусным расстоянием, разработанной фирмой JEOL, фокусировка и положение поля зрения даже на очень больших увеличениях поддерживаются неизменным.

Низковакуумная модель РЭМ JSM-6610LV имеет, в дополнение к обычному, высоковауумному, низковакуумный режим работы. В таком режиме можно изучать непроводящие образцы безо  всякого препарирования, а затем проанализировать их с помощью энергодисперсионного  спектрометра.

Эвцентрический столик образца не меняет поле зрения (точку интереса) и фокусировку при вращении и наклоне образца. Столик предназначен для наблюдения особенностей строения поверхности образцов, в том числе,  под разными углами. Вы можете наблюдать третье измерение – глубину образца и строить трехмерные изображения, путём получения серий  стереоизображений. Качество стереоизображений напрямую зависит от того, насколько точно сохраняется исходное положение образца при его вращении и наклоне.

На колонну микроскопа можно повесить одновременно от одного до трех дополнительных спектрометров (например, спектрометр с дисперсией по энергиям, по длинам волн и детектор картин дифракции отраженных электронов).

Характеристики:

• Пространственное разрешение - 3 нм (2,5нм с катодом LaB6);
• Ускоряющее напряжение - от 0,3кВ до 30 кВ;
• Диапазон увеличений - от х5 до х300 000;
• Максимальный размер образца - диаметр до 200 мм, высота до 80 мм;
• Виды контраста - вторичные электроны: топографический контраст ; отражённые электроны: композиционный, топографический, теневой контрасты.
• Катод - W или LaB₆ (опция);
• Столик образцов - эвцентрический моторизация до 5 осей с компьютерным управлениемдиапазон перемещений: Х – 125 мм, Y – 100 мм, Z – от 5 до 80 мм. наклон: от -10 до +90 градусов, вращение 360 градусов;
• Программное обеспечение - для MS Windows XP Pro.

Многозадачный растровый электронный микроскоп

JSM-7001F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки.

Идеальное решение для исследования и анализа наноструктур  Многозадачный, высокоэффективный СЭМ с низким энергопотреблением (2 кВА) снабжен уникальной комбинацией пушки «In-lens» , позволяющей эффективно собирать все электроны и поддерживать высокий ток пучка, подогревного автоэмиссионного катода и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах (до 200nA). Это  разработка Jeol,  позволяет поддерживать высокий ток пучка  с высокой стабильностью, что эффективно для EBSP, WDS и CL анализов, и одновременно получать изображения высокого разрешения в широком диапазоне увеличений. При этом нет необходимости менять апертуру. Маленький размер зонда гарантируется даже при низких ускоряющих напряжениях и высоких токах. Уникальные характеристики микроскопа  позволяют использовать его в качестве электронного литографа, оснащая прибор соответствующими устройствами, такими, как   “electron beam blanker” и “pattern generator (опция).

На колонну микроскопа могут быть установлены все типы аналитических приставок, например, EDS, WDS, EBSD, CL, EBIC. Маленький диаметр зонда и оптимальные условия позволяют элементный анализ образцов  с размерами анализируемой области в несколько десятков нанометров. Детектор тока пучка вставляется в колонну микроскопа ниже апертуры объективной линзы, что позволяет контролировать ток пучка в любое время в ходе анализа. Система “Gentle Beam”  позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением. Магнитное поле не выходит за пределы суперконической объективной линзы, так что могут исследоваться даже магнитные образцы большого размера. Самая маленькая  апертура объективной линзы обеспечивает ток пучка 10 нА, что эффективно для  элементного анализа с помощью EDS и EBSD.

• Пространственное разрешение - 1,2 нм при 30 кВ,3 нм при 1 кВ; 
• Полностью автоматизированная электронная пушка;
• Детектор для работы в STEM режиме (опция);
•  Ускоряющее напряжение - от 0,5кВ до 20 кВ;
• Ток пучка - до 200 нА, при 15 кВ;
• Диапазон увеличений - от х10 до х500 000;
• Максимальный размер образца - диаметр до 200 мм;
• Катод - Шоттки;
• Столик образцов - эвцентрического типа, моторизованный;
• Нано манипулятор (опция). Возможна установка нескольких манипуляторов.

Растровый электронный микроскоп со сверхвысоким разрешением

JSM-7500F – автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп ультравысокого разрешения. Данный прибор уникален тем, что даже при низком ускоряющем напряжении он обеспечивает сверхвысокое разрешение (1,4нм при 1кВ). Это делает JSM-7500F прекрасным инструментом для анализа текстуры наноструктурных объектов, особенно тех, которые чувствительны к воздействию электронных пучков.

Низкая чувствительность к вибрациям пола и акустическим шумам существенно снижают требования по подготовке помещения для установки JSM-7500F. Полностью обновленный интерфейс позволит даже начинающим операторам автоэмиссионных растровых микроскопов чувствовать себя уверенно рядом с данным прибором и получать хорошие результаты.

Режим регистрации электронов, отраженных под малыми углами (LABE, запатентован JEOL), снимает эффект зарядки образца, позволяет регистрировать отраженные электроны малых энергий, дает более полную информацию о мелких деталях поверхности и композиционном контрасте.

• Пространственное разрешение - 1,0 нм при 15 кВ;  1,4 нм при 1 кВ;0,6 нм при 30 кВ (достижимо);
• Электронная пушка - с холодным катодом на полевой эмиссии;
• Ускоряющее напряжение - от 0,1кВ до 30 кВ;
• Диапазон токов пучка - от 10^-12 до 2*10^-9 A;
• Диапазон увеличений - от х25 до х1 000 000 (в пересчете на фотопластину 9 см*12 см);
• 5-осевой моторизованный столик образцов с автоматической защитой, эвцентрического типа;
• Максимальный размер образца - диаметром до 200 мм, высотой до 10 мм;
• Одновременное наблюдение 4 разных сигналов с 16-битным динамическим диапазоном;
• r-фильтр позволяет проводить фильтрацию по энергиям вторичных и отраженных электронов;
• Система “Gentle Beam”  позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях;
• Автоматическая замена образцов (опция);
• Выдвижной детектор отраженных электронов.