Приборы JEOL для микроанализа и анализа поверхности

Энергодисперсионный рентгеновский анализатор JED-2300 представляет собой ЭДС, интегрированный с РЭМ, управление которым осуществляется с помощью многооконного программного обеспечения. Анализатор использует напряжение, ток и увеличение РЭМ и позволяет легко контролировать эти параметры на дисплее РЭМ и ЭДС с помощью клавиатуры и мыши.

• Аналитическая станция – это новый подход к созданию комплексной системы РЭМ+ЭДС, в которой объединены растровый электронный микроскоп (РЭМ) и энергодисперсионный спектрометр (ЭДС).
• В основе подхода лежит создание системы просмотра изображения, полученного на сканирующем электронном микроскопе, и анализа наблюдаемого вещества. Аналитический центр обеспечивает наблюдение и анализ на большой площади с использованием предметного столика, управляемого компьютером.
• Джеол разработал систему легко осуществляемого монтажа, поиска и точного наведения, которые повышают эффективность наблюдения и анализа.
• Аналитическая станция позволяет осуществлять последовательный анализ и поэлементное сканирование множества участков в автоматическом режиме и обрабатывать данные применительно к соответствующим точкам наблюдения.

Простота управления, новейшие программы, множество новых функций - вот главные черты этого прибора! Аналитические возможности нового JXA-8100/8200 наиболее полно удовлетворяют требованиям пользователей. Автоматизированная система, представляющая собой единый пакет программного и аппаратного обеспечения для волнового и энергодисперсионного спектрометров, разработана лучшими специалистами Jeol. Что очень важно, этот микроанализатор с самого начала разрабатывался под контролем и с учетом конструктивных предложений пользователей.

• Аппаратное и программное обеспечение совместимо с платформами Windows, Macintosh и Linux.
• Эргономичный пульт управления.
• Новые возможности наблюдения нескольких изображений в реальном времени.
• Новое цифровое управление.
• Простое включение и запуск зонда с помощью автофункций.
• Новейшие высокочувствительные кристаллы для анализа легких элементов.
• Новая серия ЭДС детекторов высокого разрешения.
• Электронная оптика высочайшего качества.
• Возможность удаленного управление прибором по сети.
• Цифровой контроль управлением устройства вращения скана.
• Цифровой контроль контраста-яркости изображений.
• Количественная калибровка изображений в обратно-рассеянных электронах возможна в автоматической программе анализа частиц.
• Цифровой контроль стабилизатора тока пучка. Все автоматические функции могут активизироваться и изменяться в окне EWS.
• Автофункция установки насыщения тока.
• Функция автоцентровки. Автоматически центрируются оси электронно-оптической системы.
• Автофокус, автостигматор, автоконтраст и яркость.

Данный микрозонд, оснащенный катодом с полевой эмиссией, дает лучшее в мире аналитическое пространственное разрешение. Благодаря новейшим разработкам JEOL в области электронно-оптических систем, использованным в данном приборе, могут исследоваться образцы размером от 3 нм (режим SEI) и от 8 нм (Oже-режим). Разрешение по энергиям может быть изменено в диапазоне от 0,05% до 0,6%. Новая нейтрализующая ионная пушка позволяет проводить анализ изоляционных материалов. Большой столик дает возможность работать с образцами размером до 95мм диаметром.

Сканирующий Оже-микрозонд (SAM) с полусферическим анализатором (HSA), снабжен многоканальным детектором. Поскольку HAS имеет высокое энергетическое разрешение, он позволяет не только элементный анализ, но также и анализ химического состояния микрообласти поверхности, что важно при анализе поверхностей металлов и областей взаимодействия металлов, полупроводников и керамик. Уровень вакуума 10 ^-8 Па позволяет проводить анализы в чрезвычайно чистых условиях.
В дополнение к привычным функциям SAM, JAMP-7810 обладает уникальными возможностями, например, глубокого профильного анализа*. Компьютерной корректировкой достигается совмещение пучка ионного распылителя* и центра вращения образца при анализе поперечного среза изображения (профилирования по глубине), и картирования широкой площади столиком сканирования. Кроме того, можно превратить JAMP-7810 в комплексную аналитическую систему, дополнив его SIMS*, XPS*, UHV-EDS (приобретается дополнительно).